Amûrên RF Plasma ji bo Sepanên Semiconductor

Amûrên RF Plasma ji bo Serlêdanên Semiconductor yekîneyek paqijkirinê ya pispor e ku ji bo pakkirina nîvconduktorê ya pêşkeftî û pêvajoyên dermankirina rûkalê hatî çêkirin. Amûrek kabîneyek zexm a ku ji-pola pola bilind hatî çêkirin heye, ku bi qermîçok-tefsarê tozek spî hatî qedandin, hem domdariyê û hem jî xuyangek pîşesaziyê ya paqij peyda dike. Odeya valahiya wê ya sereke ji-plaqeyên alûmînyûmê yên paqijiya bilind û bi qalindahiya wan ne kêmtir ji 25 mm tê çêkirin, ku performansa morkirinê ya hêja û îstîqrara avahîsaziya demdirêj- misoger dike. Pîvana jûreya hundurîn 450 × 450 × 450 mm in, bi pîvaza elektrodê ya yek-bi tevahî girtî ya bi pîvana 410 × 430 mm ve hatî çêkirin. Selikên kar rasterast li ser plakaya elektrodê têne danîn, ku di sêwiranê de bi bingeha elektroda sifir ve girêdide- û di dema xebitandinê de hilberîna plazmayê ya bikêr û aram garantî dike.

Pergal ji hêla platformek PLC ve tê kontrol kirin, ku destûrê dide guheztina bêkêmasî di navbera modên destan û bi tevahî otomatîk de. Hemî pîvanên xebitandinê dikarin di wextê rast de werin mîheng kirin, sererastkirin, hilanîn û çavdêrî kirin. Xala kontrolê ya PID-ê ya yekbûyî aramî û rastbûnê zêde dike. Rêbazên pêvajoyê yên pirjimar dikarin li gorî hewcedariyê werin hilanîn û bibîranîn, ku bi taybetî ji bo hawîrdorên ku hewceyê guherînên pêvajoyê yên pir caran hewce ne bikêr e. Pergala valahiya ji hêla komek pompek hişk ve tê rêve kirin, leza pompkirina bilez peyda dike, digel ku jûreyek bi gelemperî di nav 100 çirkeyan de digihîje asta valahiya hewce.