Serlêdanên Taybet ên Paqijkerên Plasmayê

Paqijkirina/makîneyên plazmayê bi danîna du elektrodê di konteynirek girtî de plazmayê diafirînin da ku zeviyek elektrîkê biafirînin. Pompek valahiya ji bo domandina asta valahiya diyarkirî tê bikar anîn. Her ku gaz her ku diçe kêm dibe, dûrbûna molekulan û tevgera azad a molekul an îyonan jî zêde dibe. Di bin bandora qada elektrîkê de ev îyon li hev dikevin û plazmayê çêdikin. Van îyonan pir reaktîf in, bi enerjiya têra ku hema hema hemî bendên kîmyewî bişkînin, reaksiyonên kîmyewî li ser her rûberek vekirî çêdikin. Plazmayên gazê yên cuda xwedî taybetmendiyên kîmyewî yên cihê ne. Mînakî, plazmaya oksîjenê pir oksîjen e, ku karibe fotoresistê oksîjen bike ku gazê hilberîne, bi vî rengî bandorek paqijkirinê bi dest dixe. Plazmaya gaza korozîf xwedan anizotropîyek hêja ye, ku hewcedariyên eftkirinê pêk tîne. Tedawiya plazmayê ronahiyek çêdike, ji ber vê yekê jê re jêvekêşana ronahiyê tê gotin.
Mekanîzmaya paqijkirina plazmayê di serî de xwe dispêre "çalakkirina" perçeyên çalak ên di plazmayê de ji bo rakirina lekeyên rûkalê. Di warê mekanîzmaya reaksiyonê de, paqijkirina plazmayê bi gelemperî pêvajoya jêrîn vedihewîne: gazên neorganîk di nav rewşek plazmayê de têne heyecan kirin; maddeyên gazê li ser rûxara zexm têne kişandin; komên adsorbed bi molekulên li ser rûxara zexm reaksiyonê dikin û molekulên hilberê çêdikin; molekulên hilberan di qonaxa gazê de vediqetin; û bermahiyên reaksiyonê ji rûerdê têne derxistin.

Taybetmendiya herî girîng a teknolojiya paqijkirina plazmayê ev e ku ew dikare her cûre substratê derman bike, di nav de metal, nîvconductor, oksîdan, û piraniya materyalên polîmer ên wekî polypropylene, polester, polyimide, polyvinyl chloride, epoxy, û hetta polîtetrafluoroethylene. Ew dikare hem tevahiya rû û deverên taybetî, hem jî avahiyên tevlihev paqij bike.